项目名称：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所大平台原子力显微镜采购项目
中标（成交）信息
供应商名称：深圳明锐仪器有限公司
供应商地址：深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝清路8号双环工业厂区厂房C栋101
中标（成交）金额：472.5000000（万元）
主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| 1 | 深圳明锐仪器有限公司 | 大平台原子力显微镜 | 明锐仪器 | MRe-AFM-M7 | 1套 | ￥4,725,000.00 |
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所大平台原子力显微镜采购项目 | ||
| 品目 | 货物/设备/仪器仪表/光学仪器/显微镜 | ||
| 采购单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | ||
| 行政区域 | 长春市 | 公告时间 | 2025年12月13日 14:35 |
| 评审专家名单 | 赵超、焦丽丽、卢宇、董国军、李明茁 | ||
| 总中标金额 | ￥472.500000 万元（人民币） | ||
大平台原子力显微镜（以大样品台原子力显微镜为例）介绍
大样品台原子力显微镜（AFM）是高端表面分析仪器，专为纳米级三维形貌成像及材料物理属性（力学、磁学、电学等）表征设计。其核心优势在于支持大尺寸样品（如直径≥200mm的碳化硅晶圆）的无损检测，突破传统AFM对样品尺寸的限制，同时保持原子级分辨率（垂直方向≤0.01nm，横向≤0.1nm）。
样品台与扫描范围
样品台尺寸：直径200-210mm，支持自动移动，兼容12寸晶圆（如致真精密仪器Wafer Mapper-M型号）。
扫描范围：XY方向最大120μm×120μm，Z方向12-15μm，适应表面起伏大的样品（如台阶结构、粗糙表面）。
分辨率与噪声水平
垂直分辨率：≤0.01nm（依赖探针与环境稳定性），可分辨原子级台阶。
横向分辨率：<0.1nm，实现纳米级形貌特征（如纳米颗粒尺寸、薄膜厚度）的精准测量。
噪声水平：Z向<0.05nm（RMS），XY向<0.1nm（RMS），确保高信噪比成像。
功能模式与扩展性
PeakForce Tapping（布鲁克专利技术）：实现pN级超低力成像，避免损伤生物分子或聚合物。
相位成像模式：通过检测驱动信号与实际振动相位差，反映样品表面力学、电磁学性质分布。
基础模式：轻敲模式（Tapping Mode）、接触模式（Contact Mode），适用于硬质与软质样品。
高级模式：
多模块扩展：支持横向力显微镜（LFM）、静电力显微镜（EFM）、磁力显微镜（MFM）、压电力显微镜（PFM）等，实现摩擦力、电势、磁畴、压电响应等多物理场同步测量。
环境控制与变温功能
液体池设计：支持液相环境检测，适用于生物样品（如细胞、DNA）的原位成像。
变温范围：-35°C至250°C，可研究材料相变过程（如聚合物玻璃化转变、金属腐蚀机理）。
半导体制造
晶圆检测：分析碳化硅、硅片等大尺寸晶圆的表面粗糙度、颗粒污染、台阶高度（如刻蚀深度）。
缺陷定位：通过光学图像与激光对准技术，在300mm×300mm区域内实现1μm定位精度，快速定位电流泄漏、晶格错位等缺陷。
材料科学
纳米材料表征：测量纳米颗粒尺寸分布、纳米线直径、量子点形貌，支持纳米结构力学性能（如弹性模量、粘附力）的定量分析。
高分子材料研究：观察聚合物表面形貌演变（如溶剂挥发导致的相分离），分析摩擦系数、粘弹性等表面性质。
生物医学
生物大分子成像：原位观察DNA、蛋白质的精细结构，测量其杨氏模量及阻抗特性。
细胞力学研究：在液相环境中测量细胞膜弹性、细胞间作用力，揭示细胞迁移、分化机制。
能源领域
电池材料分析：研究锂电池电极材料的表面形貌与导电性分布，优化充放电效率。
燃料电池催化层：表征催化剂颗粒尺寸与分散性，评估催化活性与耐久性。